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Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
- Format:
- Book
- Author/Creator:
- Grund, Thomas
- Series:
- Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
- Language:
- German
- Physical Description:
- 1 online resource (IX, 125 p. p.)
- Place of Publication:
- KIT Scientific Publishing 2010
- Language Note:
- German
- Summary:
- Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
- ISBN:
- 1000016593
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