Lehrbuch Mikrosystemtechnik : Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen / Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler.

Format:

Book

Author/Creator:

Schwesinger, Norbert, author.

Adler, Frederic, author.

Dehne, Carolin, author.

Language:

German

Subjects (All):

Microelectronic packaging--Handbooks, manuals, etc.

Microelectronic packaging.

Electronic packaging--Handbooks, manuals, etc.

Electronic packaging.

Physical Description:

1 online resource (592 p.)

Edition:

1st ed.

Place of Publication:

Berlin ; Boston : Oldenbourg Wissenschaftsverlag, [2009]

Language Note:

German

Summary:

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

Contents:

Front Matter

2 Mechanische Grundelemente

3 Fluidische Grundelemente

4 Wandler

5 Basis-/Substratmaterialien

6 Herstellung der Mikrokomponenten

7 Konfektionierung der Mikrokomponenten

8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement)

9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente

Verzeichnis der Schlüsselbegriffe

Notes:

Description based upon print version of record.

Description based on online resource; title from PDF title page (publisher's Web site, viewed 08. Jul 2019)

ISBN:

9783486594119

3486594117

OCLC:

1002222528