1 option
Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
- Format:
- Book
- Author/Creator:
- SchuÌle, Sven
- Series:
- Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
- Language:
- German
- Physical Description:
- 1 online resource (176 p. p.)
- Place of Publication:
- KIT Scientific Publishing 2010
- Language Note:
- German
- Summary:
- Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhoÌhte SystemflexibilitaÌt bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
- ISBN:
- 1000018509
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