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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
- Format:
- Book
- Author/Creator:
- Stöffler, Dominik
- Series:
- Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut
- Language:
- German
- Physical Description:
- 1 online resource (IV, 98 p. p.)
- Place of Publication:
- KIT Scientific Publishing 2012
- Language Note:
- German
- Summary:
- In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
- ISBN:
- 1000027524
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