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Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
- Format:
- Book
- Author/Creator:
- Auernhammer, Daniel
- Series:
- Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
- Language:
- German
- Physical Description:
- 1 online resource (VI, 132 p. p.)
- Place of Publication:
- KIT Scientific Publishing 2012
- Language Note:
- German
- Summary:
- In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
- ISBN:
- 1000027008
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