Thermoelektrischer Transport und Struktureigenschaften von dünnen Sb2Te3-Schichten bei der Prozessvariation in der Atomlagenabscheidung / Laurens Pudewill.

Format:

Book

Author/Creator:

Pudewill, Laurens, author.

Language:

German

Subjects (All):

Thermoelectricity.

Thermoelectric materials.

Physical Description:

1 online resource (81 pages)

Edition:

1st ed.

Place of Publication:

Hamburg, [Germany] : Diplomica Verlag, 2017.

Summary:

Da die Menge an fossilen Brennstoffen begrenzt ist, r ckt ein effizienter Umgang mit Energie und die Erschlie ung neuer Energiequellen verst rkt in den Blick der ffentlichkeit. Aufgrund der bis heute noch geringen Effizienz (Wirkungsgrad) der thermoelektrischen Energiewandlung bei bereits industriell nutzbaren thermoelektrischen Materialien hat sich die Thermoelektrik bis heute nur in speziellen Anwendungsbereichen durchgesetzt. Eine wesentliche Steigerung der Effizienz im Vergleich zu den Bulk-Materialien versprechen jedoch die im Fokus aktueller Forschung stehenden nanostrukturierten Halbleitermaterialien. Eines der besten p-leitenden thermoelektrischen Materialien bei Raumtemperaturen ist Antimontellurid (Sb2Te3). Die im Rahmen dieser Studie untersuchten nanoskaligen Sb2Te3-Schichten (D nnfilme) wurden mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) hergestellt, welche eine homogene und konforme Abscheidung einzelner Atomlagen erlaubt. Beschrieben wird der Einfluss der Prozessparameter der ALD auf die Struktur, die Morphologie und die thermoelektrischen Transporteigenschaften der Sb2Te3-Schichten. Eine Variation der Prozesszeiten beeinflusst das Wachstum der nanoskaligen Schichten hinsichtlich Kristallitgr e und Oberfl chenrauheit. Die thermoelektrische Charakterisierung umfasst die kombinierte Messung des Hall-Koeffizienten, des Seebeck-Koeffizienten und der elektrischen Leitf higkeit.

Contents:

Thermoelektrischer Transport und Struktureigenschaften von dünnen Sb2Te3-Schichten bei der Prozessvariation in der Atomlagenabscheidung

Inhaltsverzeichnis

1 Einleitung

2 Theoretische Grundlagen

2.1 Thermoelektrik

2.2 Messtechnik

2.3 Röntgendiffraktometrie

2.4 Atomlagenabscheidung (ALD)

3 Synthese und Probenpräparation

3.1 Abscheidung von nanoskaligen Sb2Te3-Schichten mittels ALD

3.1.1 ALD Reaktor

3.1.2 ALD Prozess der Probenherstellung

3.2 Herstellung der Messplattform f¨ur die Charakterisierung der thermoelektrischen Transporteigenschaften

4 Strukturelle und morphologische Eigenschaften

4.1 Variation der ALD Prozessparameter

4.2 Morphologie

4.3 Strukturanalyse

5 Thermoelektrische Transporteigenschaften

5.1 Messverfahren

5.1.1 Elektrische Leitfähigkeitsmessung und Hall-Messung

5.1.2 Seebeck-Messung

5.2 Messergebnisse

5.2.1 Temperaturabhängigkeiten

5.2.2 Einfluss der ALD Prozesszeiten

6 Zusammenfassung und Ausblick

Literaturverzeichnis

Abbildungsverzeichnis

Tabellenverzeichnis

Anhang.

Notes:

Includes bibliographical references.

Description based on online resource; title from PDF title page (EBC, viewed December 18, 2017).

ISBN:

3-96146-032-9

OCLC:

1012882702